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Titre
Mesures thermiques locales par thermocouple intrinsèque en modes contact et non contact
Université de Franche-Comté / 26-03-2009
Genix Michael
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Cette thèse, au sein du département Micro Nano Sciences et Systèmes du laboratoire FEMTO-ST, s’inscrit dans le développement de la microscopie thermique. Nous avons proposé d’étudier la mesure locale par thermocouple intrinsèque en modes contact et non contact. L’originalité de ces méthodes est qu’elles font intervenir l’échantillon conducteur comme l’un des éléments du couple thermoélectrique. La première partie de ces travaux a consisté à concevoir, réaliser et mesurer des étalons thermiques indispensables au développement d’un principe de mesure thermique. La seconde partie de cette thèse a été consacrée à la conception et à la réalisation de sondes locales spécifiquement dédiées à la mesure par thermocouple intrinsèque. Plusieurs architectures différentes ont été proposées et nous avons montré les résultats de caractérisation obtenus ainsi que les limitations de cette méthode intrinsèque. Enfin, la dernière partie de ces travaux a été dédiée à la mise en place d’un microscope à forces électrostatiques. Celui-ci permet la quantification de la Différence de Potentiel de Contact sans contact entre la sonde et l’échantillon de test. Celui-ci a permis de présenter les premières mesures de la variation de l’énergie de surface en fonction de la température.
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