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Université de Franche-Comté
/ 14-12-2010
Malapert Julien
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Aujourd hui, les micro-systèmes distribués de type MEMS (MicroElectroMechanical Systems) peuvent apporter une réponse nouvelle aux exigences de plus en plus pointues d applications aussi innovantes que la micro-manipulation d objet (utilisation de micro-convoyeurs pneumatiques) ou le contrôle des écoulements fluidiques (utilisation de générateurs fluidiques de vortex). Ce manuscrit présente la conception et la réalisation, selon des techniques de micro-fabrication, d une matrice de micro-cellules fluidiques distribuées destinée à la micro-manipulation d objets et au contrôle d écoulements fluidiques. Cette matrice est composée de 64 cellules fluidiques chacune capable de produire un micro-jet d air incliné selon quatre sens de soufflage indépendants (nord, sud, est et ouest). L inclinaison du jet selon un angle particulier est obtenue grâce à une structure fluidique particulière réalisée par gravure DRIE (Deep Reactive Ion Etching) double face du silicium. Cette matrice est en mesure de convoyer à sa surface un objet cylindrique plat de 5 mm de diamètre et 500 m d épaisseur. La modification de l écoulement fluidique turbulent le long d une rampe inclinée, par la matrice pneumatique, a été également constatée pour une fréquence de jets pulsés de 100 Hz. Des vitesses de jets (issus d une de ces structures fluidiques dites escalier dont la buse d éjection présente un diamètre caractéristique moyen d environ 180 m) de l ordre de 160 m/s, pour une pression d alimentation de 0,24 MPa, ont été mesurées par PIV (Particle Image Velocimetry). Deux micro-actionneurs électrostatiques à effet zipping de technologie MEMS ont été étudiés et fabriqués pour réaliser une micro-valve capable de contrôler l'ouverture et la fermeture d une buse d éjection. A vide, une fréquence d actionnement de 1000 Hz a été mesurée sur l un d entre eux pour une consommation de 13 mW sous 150 V. Ces travaux de doctorat rentrent dans le cadre du projet ANR (Agence Nationale de la Recherche) Smart Surface et sont aussi l héritage des projets européens AeroMEMS I et II.
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