Réalisation de Nanofils de silicium par Lithographie AFM dans le cadre de TP nanotech Master micro et nanotechnologiesGénériqueavec la participation de François Vaurette (doctorant) Bernard Legrand (Chargé de recherches CNRS) Didier Stievenard (directeur de recherche CNRS) Réalisation, prises de vue, montage: Michèle Miens (assistante ingénieur CNRS) Centrale de Technologie IEMN CNRS-USTL-IEMN
Mot(s) clés libre(s) : nanofil, silicium